PHI 5000 VersaProbe

PHI 5000 VersaProbe – инструмент для анализа поверхности, использующий сразу несколько методик, построен на базе разработанной компанией PHI технологии рентгеновского микрозондового сканирования. Данная технология, с помощью рентгеновского пучка диаметром 10 мкм, дает возможность получать изображения микрообласти во вторичных электронах, проводить визуализацию её химического состава и высокопроизводительную XPS спектроскопию. Запатентованный компанией PHI метод нейтрализации заряда двойным пучком позволяет проводить анализ поверхностей непроводящих образцов, используя комбинацию ионов с малой энергией и электронов. Встроенная аргонная пушка обеспечивает впечатляющую глубину профилирования для неорганических тонкопленочных структур. Опционная фуллеренная (C60) пушка – мощный инструмент, позволяющий получать профили в органических материалах.

1. Сканирующий рентгеновский источник
2. Анализатор энергии электронов
3. Опционная фуллеренная (C60) ионная пушка
4. Аргонная ионная пушка
5. Камера ввода образцов
6. Пятиосевой автоматизированный манипулятор образца
7. Оптический микроскоп
8. Опционный рентгеновский источник с двойным анодом
9. Опционный источник ультрафиолетового излучения