PHI 700 Nanoprobe

PHI_700_Nanoprobe

Сканирующий нанозонд PHI 700 Nanoprobe является новейшей, высокоэффективной системой разработанной компанией PHI для Оже-спектроскопии (AES), предназначенной для анализа и предоставления информации об элементном и химическом составе поверхности образца, субмикронных элементах, тонких пленках и интерфейсах.

Электронная оптика прибора на полевой эмиссии обладает пространственным разрешением менее 8 нм. Что позволяет в короткие сроки получать изображения высокого разрешения субмикронных элементов во вторичных и Оже-электронах. Коаксиальная конструкция электронной колонны и цилиндрического зеркального анализатора (CMA) обеспечивает быстрый и точный Оже-анализ любых образцов, в том числе с необработанных поверхностей сложной формы, поскольку устранено аналитической затенение.

Наличие высокопроизводительного Оже-анализа, возможность получения сканированных электронных и Оже-изображений, профилирование по глубине позволяют проводить полную характеризацию сложных образцов, таких, как:

Полупроводниковые устройства: поверхностные дефекты или частицы, загрязнения, тонкие пленки и анализ отказов

Металлы: покрытия, композиты, анализ границ зерен (включая разлом на месте), коррозия и другие дефекты

В PHI 700 имеются пятиосевой полностью моторизованный столик для образцов, управляемый пользователем с помощью нового пользовательского интерфейса, PHI SmartSoft, доступного из модуля Die Navigation. Программное обеспечение и столик объединены в единое целое, чтобы обеспечить гибкость в работе со сложными образцами и возможность проведения анализа в автоматическом режиме нескольких элементов образца.